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SJ5100精密工件內(nèi)外尺寸測長機(jī)采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精密研磨直線導(dǎo)軌、高精度溫度補償系統(tǒng)、雙向恒測力系統(tǒng)、高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種長度參數(shù)的高精度測量。在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。整個測量過程不超過3分鐘，結(jié)束后自動生成結(jié)果及記錄報表。
SJ5100精密工件內(nèi)外尺寸測長機(jī)既可以檢定螺紋/光面量規(guī)、量塊、外徑千分尺、針規(guī)、指示表等各種量具又可以測量齒輪、花鍵、校對棒等精密工件。測長機(jī)廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造業(yè)、工具、量具制造業(yè)及儀器儀表制造業(yè)等企業(yè)的計量室和各級計量鑒定部門。
儀器主要功能
1、標(biāo)配功能：
檢測量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；
光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；
螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）
螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；
光滑卡規(guī)：內(nèi)卡5~200mm，外卡1~300mm
千分尺校對桿：25~300mm；
塞尺：0.02~1mm
針規(guī)：φ0.1~φ10mm
三針：0.118~6.585mm；
兩點內(nèi)徑千分尺：25~300mm；
2、可選配功能：
小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；
螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；
光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；
光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長度10~100mm）；φ60~φ200mm（長度≤50mm）；
螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；
螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長度10~100mm）；M60~M200mm（長度≤50mm）；
鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；
花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標(biāo)準(zhǔn)齒輪（跨棒距測量）：內(nèi)φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數(shù)0.8~6mm；
外徑千分尺示值誤差手動校準(zhǔn)：25~300mm；
數(shù)顯及游標(biāo)卡尺示值誤差手動校準(zhǔn)：75~300mm；
深度千分尺示值誤差手動校準(zhǔn)：0~25、25~50、50~75mm；
三爪內(nèi)徑千分尺手動校準(zhǔn)：φ6~φ200mm；
表類（百分表、千分表、杠桿表手動校準(zhǔn)）；
數(shù)顯半徑規(guī)手動校準(zhǔn)：R5~R700mm；
軸承內(nèi)外圈錐度、溝槽底徑內(nèi)外徑及溝槽寬度、精密零部件的長度尺寸，內(nèi)外徑尺寸測量；
SJ5100系列測長機(jī)廣泛應(yīng)用于機(jī)械制造業(yè)、工具、量具制造業(yè)及儀器儀表制造業(yè)等企業(yè)的計量室和各級計量鑒定部門。
應(yīng)用案例如：
機(jī)械制造：在機(jī)械制造過程中，可以用來測量各種零件的尺寸和形狀，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。
半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。
光學(xué)加工：在光學(xué)加工領(lǐng)域中，可以用來測量光學(xué)元件的表面形貌和厚度等參數(shù)。
航空航天：在航空航天領(lǐng)域中，可以用來測量航空器的外形和尺寸，以及檢測零部件之間的配合精度。
主要技術(shù)指標(biāo)
| 型號 | SJ5100-Prec300（精密測量型） | |
| 測量范圍 | 外尺寸 | 直接測量：0~340mm |
| 內(nèi)尺寸 | 比較測量：5~200mm（配置比較測量環(huán)規(guī)） | |
| 外尺寸示值誤差 | ≤±（0.2+L/1000）μm，其中：L為被測長度，單位：mm | |
| 內(nèi)尺寸重復(fù)性(2S或2δ) | ≤0.1μm | |
| 內(nèi)尺寸重復(fù)性(2S或2δ) | ≤0.2μm（使用測鉤）≤0.3μm（使用內(nèi)測裝置） | |
| 測力 | 內(nèi)測裝置傳感器測力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N、主測力1~10N手動連續(xù)可調(diào) | |
| 測量直徑 | 環(huán)規(guī)200mm（標(biāo)配） 、塞規(guī)250mm（標(biāo)配） | |
| 儀器尺寸 | 1400*400*450mm | |
| 儀器重量 | 150kg | |
五軸工作臺 | 型號 | ST-30.1(標(biāo)配) |
| Z軸 | 0~50mm | |
| Y軸 | ±25mm | |
| X軸浮動 | ±10mm | |
| Z軸旋轉(zhuǎn) | ±3° | |
| Y軸擺動 | ±3° | |
| 負(fù)載 | 50kg | |
| 臺面尺寸 | 350*25mm |
環(huán)境條件
參考校準(zhǔn)/使用環(huán)境溫濕度：
溫度：20±2℃，波動不超過0.5℃/小時
相對濕度：10~70%。
振動：按照三坐標(biāo)振動要求標(biāo)準(zhǔn)，振動速度均方根≤5um/s，振動頻率8~100Hz；
校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、震動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場。
懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。
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